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華通氣動
HT. Pneumatic Manufacture
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GZK512/GZK712 高真空電磁閥全場景應用解決方案

GZK系列高真空電磁閥產品介紹


GZK512/GZK712系列高真空電磁閥華通氣動自主研發的高品質產品,完全對標進口系列,安裝尺寸100%兼容,性能達到國際先進水平。產品廣泛應用于半導體、光伏、鋰電等高端制造領域,為客戶提供穩定可靠的真空與氣體控制解決方案。

GZK512 系列高真空電磁閥

40mm幅寬緊湊型設計,通徑涵蓋φ4.5、φ6等多種規格,屬于通電時打開型(NC),通過CE認證,適用于多種高真空與惰性氣體精確控制場景。

  • ? 適用流體:空氣、真空、惰性氣體

  • ? 耐壓力可達5.0MPa

  • ? 泄漏率≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)

  • ? 200萬次超長使用壽命

  • ? 多種連接方式:JXR公接頭、雙卡套、NPT/RC螺紋

GZK712 系列高真空電磁閥

70mm幅寬大口徑設計,通徑有φ12和φ15兩種規格,屬于通電時打開型(NC),配管口徑法蘭φ52,符合RoHS標準,專為大流量真空及惰性氣體控制設計。

  • ? 適用流體:真空及惰性氣體

  • ? Cv值最高可達4.7,流量大

  • ? 泄漏率≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)

  • ? 多種電壓規格:AC100V、AC200V、DC24V

  • ? 連接方式:法蘭φ52、VCR接頭

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產品實物展示

GZK512高真空電磁閥實物圖1GZK712高真空閥實物圖GZK512高真空閥實物圖GZK512高真空閥實物圖

核心技術優勢


華通氣動憑借六十余年氣動元件研發制造經驗,打造出性能卓越、品質可靠的高真空電磁閥產品,已服務全球10000+工程師和30+行業頭部客戶。

【卓越密封】

閥座泄漏和外部泄漏均控制在1.0×10?? Pa·m3/s(He)以下,有效防止流體泄漏,確保系統真空度和氣體純度。

【超長壽命】

可承受200萬次開關循環,比傳統產品提升40%,大幅降低更換頻率和維護成本,提高設備稼動率。

【低耗節能】

優化的電磁線圈設計,長時間通電工況下節能效果顯著,減少能源消耗,降低系統運行成本。

【自由安裝】

可根據安裝空間任意方向安裝,有效節省設備空間,便于系統集成和現場安裝調試。

【多樣連接】

提供雙卡套接頭、NPT/RC螺紋、法蘭連接、VCR接頭等多種選擇,滿足不同行業和設備的連接需求。

【高潔凈度】

潔凈度符合SEMI標準,閥體采用優質不銹鋼材質,適用于半導體、鋰電等高潔凈要求行業。

我們的工程師將在2小時內為您提供專屬技術支持,立即咨詢

八大核心應用場景


GZK512/GZK712系列高真空電磁閥適用于多種高端制造領域,為不同行業提供專業可靠的真空與氣體控制解決方案。

半導體制造行業

1. 半導體制造行業

半導體芯片制造的所有核心工藝都在高真空/超高真空環境下進行,對閥門的密封性能、潔凈度和可靠性要求極高。GZK系列閥門憑借卓越的性能,成為半導體設備的理想選擇。

核心應用環節:

  • 離子注入機:GZK512用于工藝氣體(磷烷、砷烷)的精確通斷控制

  • 薄膜沉積設備(PVD/CVD):GZK712用于反應腔室與真空泵組之間的隔離

  • 干法刻蝕設備:控制刻蝕氣體(Cl?、CF?)的通入路徑

  • 晶圓傳輸系統:隔離不同真空腔室,防止交叉污染

2. 新能源光伏行業

光伏電池生產中的薄膜沉積、擴散、刻蝕等關鍵工藝都需要高真空環境。GZK系列閥門憑借高可靠性和長壽命,能夠滿足光伏行業大規模、連續化生產的需求。

核心應用環節:

  • PERC電池背鈍化鍍膜:GZK512用于氧化鋁薄膜沉積過程中的氣體流量控制

  • TOPCon電池硼擴散工藝:控制硼源氣體的通入與切斷

  • HJT電池PECVD設備:GZK712用于硅片表面非晶硅薄膜沉積的真空系統控制

  • 光伏玻璃鍍膜:控制氬氣等惰性氣體的通入量

新能源光伏行業
鋰離子電池制造行業

3. 鋰離子電池制造行業

鋰電池生產中的多個關鍵工藝都依賴真空技術。GZK系列閥門的金屬污染控制特性可有效防止電池自放電率升高,提升電池循環壽命和安全性。

核心應用環節:

  • 極片真空干燥:GZK712用于真空干燥箱的抽氣與隔離

  • 電解液真空注入:GZK512用于注液機的真空系統控制

  • 化成與脫氣:抽取鋰電池化成過程中產生的氣體

  • 真空封裝:在電池最后封裝環節實現高效真空封裝

4. 高純氣體系統應用

高純氣體(電子特氣、高純氮、高純氬等)的輸送和分配系統對閥門的密封性能和潔凈度要求極高。任何微小泄漏都會導致氣體純度下降,影響產品質量。

核心應用場景:

  • 電子特氣輸送系統:適用于硅烷、磷烷等高危電子特氣的輸送控制

  • 半導體廠中央供氣系統:用于氣體分配箱(VMB/VMP)中的支路控制

  • 實驗室氣路系統:為分析儀器提供安全可靠的氣體

  • 氣體純化設備:控制純化過程中的氣體流向

高純氣體系統應用

5. 盾構機高純氣體系統

盾構機施工中的氮氣系統是關鍵的安全與輔助系統。GZK系列閥門的高可靠性和快速響應能力,能夠在惡劣的施工環境下穩定工作。

  • 土倉惰化與防爆:控制高純氮氣注入土倉,消除爆炸風險

  • 土壓平衡調節:幫助精確穩定地調節土倉壓力

  • 帶壓作業生命支持系統:用于氦氮氧"三元混合氣"的配比與輸送

6. 流化床反應器系統

流化床反應器廣泛應用于化工、制藥、材料等行業。GZK系列閥門適用于流化床系統中的真空取樣、添加劑抽吸等環節。

  • 真空取樣系統:GZK512用于氣液固三相同時取樣裝置

  • 添加劑抽吸系統:控制真空設施與添加劑儲料斗之間的連接

  • 反應氣氛控制:調節反應氣體的通入量和流向

7. 真空鍍膜行業

真空鍍膜技術廣泛應用于光學、電子、裝飾、工具等領域。GZK系列閥門的快速動作特性可精準控制鍍膜厚度和均勻性。

  • 磁控濺射鍍膜:控制氬氣等工作氣體的通入量

  • 電子束蒸發鍍膜:用于真空系統的抽氣與隔離

  • 光學鍍膜:精確控制多種鍍膜材料氣體的流量

8. 科研與其他應用

GZK系列高真空電磁閥憑借穩定可靠的性能,也廣泛應用于科研實驗、真空熱處理、生物醫藥等多個領域。

  • 大型科研設施:同步輻射光源、粒子加速器真空系統

  • 航空航天:部件真空淬火、粉末冶金燒結

  • 生物醫藥:真空冷凍干燥機、無菌灌裝設備

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技術參數


GZK系列高真空電磁閥提供多種規格選擇,滿足不同行業和應用的需求,支持非標定制。

GZK512系列技術參數

參數項目GZK512-4.5GZK512-6
通徑(mm)4.56
幅寬(mm)40
Cv值0.61.05
使用壓力范圍(abs)1.0×10??~0.8×10?Pa1.0×10??~0.3×10?Pa
最高工作壓力差0.8MPa0.3MPa
背壓(MPa)0.20.15
泄漏率≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)
耐壓力5.0MPa
流體溫度5~55℃
環境溫度0~55℃(不得凍結)
額定電壓DC24V
功耗11.8W11.5W
絕緣等級B級(130)
使用壽命200萬次
閥體材質SUS304/SCS13
密封材質FKM(氟橡膠),可定制全氟醚橡膠
連接方式JXR公接頭、雙卡套、NPT/RC螺紋
重量(kg)0.69

GZK712系列技術參數

參數項目GZK712-12F-12BGZK712-12F-12HGZK712-15F-15BGZK712-15F-15H
通徑(mm)1215
幅寬(mm)70
Cv值(直管)3.24.3
Cv值(L方向)3.64.7
使用壓力范圍(abs)1.3×10??~1.5×10?Pa1.3×10??~3.0×10?Pa1.3×10??~1.0×10?Pa
最高工作壓力差0.15MPa0.3MPa0.1MPa
背壓(MPa)0.10.02/0.1
泄漏率≤1.0×10?? Pa·m3/s(He)
耐壓力0.5MPa
流體溫度5~55℃
環境溫度0~55℃(不得凍結)
額定電壓AC100V、AC200V(50/60Hz)、DC24V
功耗AC:32.5W DC:40W
絕緣等級B級(130)H級(180)B級(130)H級(180)
使用壽命200萬次
閥體材質SCS13
密封材質FKM(氟橡膠),可定制全氟醚橡膠
連接方式法蘭φ52、VCR接頭
重量(kg)2.0

選型指南

GZK512系列推薦應用

  • 半導體離子注入機氣體控制

  • 鋰電池電解液真空注入

  • 高純氣體小流量控制

  • 流化床真空取樣系統

  • 實驗室分析儀器氣路

GZK712系列推薦應用

  • 光伏電池PECVD鍍膜設備

  • 鋰電極片真空干燥系統

  • 盾構機氮氣惰化系統

  • 半導體PVD/CVD腔室隔離

  • 大型真空鍍膜設備

不確定如何選型?撥打0510-83591123,專業工程師為您一對一選型指導

國產替代核心價值


選擇華通氣動GZK系列高真空電磁閥,不僅能獲得國際先進水平的產品性能,還能享受國產替代帶來的多重優勢。

【完全兼容】

安裝尺寸、接口標準與進口產品100%兼容,無需改造設備即可直接替換

【快速交付】

國內生產基地,交貨周期縮短至7-15天,遠優于進口產品的4-8周

【成本優勢】

價格僅為進口產品的50%-60%,大幅降低設備采購和維護成本

【技術支持】

提供本地化技術服務,24小時響應客戶需求,現場解決問題

【定制服務】

可根據客戶特殊需求進行定制化設計,滿足不同行業的個性化要求

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提供您的應用場景或需求,我們的工程師將在2小時內為您推薦合適產品,并免費提供整體解決方案。

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瞿經理:136 5617 7271

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張經理:159 6177 9750

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